МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ КАДМИЯ НА МОЛИБДЕН

В работе были рассмотрены соединения Mo-Cd полученные путем осаждения в ионноплазменной установке. Для этого используется метод получения покрытий с нанокристалической структурой с применением ионно-плазменного напыления металлов с последующим осаждением на подложку в виде островковых плёнок. Получены принципиально новые покрытия на основе молибденакадмия Mo-Cd. Впервые получен синтез Mo-Cd при температуре не выше 100 ° С и был осуществлен с использованием термофлютинационного эффекта плавления. Для изучения структуры монокристаллических образцов с помощью спектроскопии обратного рассеяния Резерфорда использовался эффект каналирования. На основе анализа спектров, полученных при различных ориентациях пучка ионов по направлениям каналирования можно получить информацию о кристаллическом совершенстве исследуемого образца. Из анализа величины поверхностного пика, являющегося следствием прямого столкновения ионов с поверхностными атомами, можно получить информацию о структуре поверхности, например, о наличии на ней перестроек, релаксаций и адсорбатов. Эксперименты проводились на рентгеновском дифрактометре, электронном микроскопе и криогенной установке.

1. Benhenda S., Guglielmacci J.M., Gillet M., Hultman L., Susgren J.-E. Effect of substrate bias on the protective properties of TiN films grown by reactive magnetron sputtering onto Cu substrates// Appl. Surface Sci.-1989.-Vol.40,-№1-2.-P.121-128.

2. Тулеушев А.Ж., Володин В.Н., Тулеушев Ю.Ж., Жаканбаев Е.А. Новое соединение Ta3Pb: получение, структура и свойства. // Ядерная и радиационная физика, Матер. 4-ой Межд. конф., 15-17 Алматы, 2004г. - с.270-276.

3. Wronski C.R.M. The size dependence of the melting point of small particles of tin // Brit. J. Appl. Phys.-1967.-Vol.18, № 12.-Р.1731-1737.

4. Белый А.В., Карпенко Г.Д. Структура и методы формирования износостойких поверхностных слоев. – М.: Машиностроение, 1991.

5. Волин Э.М. Ионно-плазменные методы получения износостойких покрытий (Обзор зарубежной литературы за 1979-1983 гг.) // Технология легких сплавов.−№ 10.−1984.

6. Hill R.G., Cormia R., McLeod P. High rate magnetron sputtering// Proc. 7th Int. Vac. Congr. and 3rd Int. Conf. Solid. Surfaces, Vienna.-1977.-Vol.2,P.1583-1586.

7. Электронный ресурс – сайт производителя техники JEOL: http://jeolrus.com/products/d_products/jem-2100/index.html.

8. Johansson B.O., Sudgren J.-E., Hentzell H.T.G., Karlsson S.-E. Influence of substrate shape on TiN films preparared by reactive sputtering// Thin. Solid. Films.-1984.-Vol.111,№4.-P.313-322.

9. Stowell M.J. The Solid-Liquid Interfacial Free Energy of Lead from Supercooling Data // Phil. Mag.- 1970.-Vol.22, №176.-Р.1-6.

10. Жаканбаев Е.А., Тулеушев Ю.Ж. Исследование влияния параметров магнетронного осаждения на сверхпроводящие свойства пленок нитрида ниобия// Тез. 7 межд.конф. «Ядерная и радиационная физика».-Алматы, 2007.-С.102-104.